Системы рециркуляции выхлопных газов Edwards Proteus, Atlas, EUVL, EUV и др.

Системы рециркуляции выхлопных газов улучшат время безотказной работы процесса, выход, производительность и соответствие требованиям безопасности, стремясь при этом сбалансировать часто противоречивые требования.

Системы Atlas обеспечивают исключительную надежность, отличную обработку порошка и коррозионную стойкость, обеспечивая эффективность снижения выбросов в полупроводниковой промышленности, производстве плоских панелей, солнечной промышленности и MOCVD.

Системы Proteus обеспечивают эффективную очистку ПФУ и других газов, вызывающих глобальное потепление, без использования природного газа или других углеводородов.

Системы Smart Thermal Management Solutions обеспечивают надежный и точно контролируемый нагрев форвакуумных и технологических выпускных труб для предотвращения закупорки конденсированными побочными продуктами или остаточными технологическими материалами.

Интегрированные системы Regis, EZENITH, EUVL, EUV обеспечивают повышенную производительность, безопасность и экологическую уверенность.

Виды товаров: Системы рециркуляции выхлопных газов, решения для сокращения выбросов углекислого газа при производстве полупроводников, интеллектуальные решения по управлению температурным режимом, системы впрыска реактивного газа, решения по управлению вакуумом и выхлопом для полупроводниковых процессов, системы управления вакуумом и выхлопом.

Модели: Atlas TCS, Atlas TPU, Atlas Kronis, Atlas Etch, Atlas Helios.