سیستم های بازیافت گاز اگزوز Edwards پروتئوس ، اطلس ، EUVL ، EUV و غیره

سیستم های بازیافت گاز اگزوز بهبود زمان کار ، عملکرد ، عملکرد و رعایت ایمنی فرآیند در حالی که به دنبال تعادل اغلب الزامات متناقض است.

سیستم های اطلس ارائه قابلیت اطمینان استثنایی ، دست زدن به پودر عالی و مقاومت در برابر خوردگی ، ارائه کارایی کاهش انتشار در صنعت نیمه هادی ، تولید پانل مسطح ، صنعت خورشیدی و MOCVD.

سیستم های پروتئوس ارائه تصفیه کارآمد Pfc ها و سایر گازهایی که باعث گرم شدن کره زمین می شوند ، بدون استفاده از گاز طبیعی یا سایر هیدروکربن ها.

سیستم های راه حل های مدیریت حرارتی هوشمند فراهم کردن گرمایش قابل اعتماد و دقیق کنترل شده از لوله های اگزوز قبل از خلاء و فرآیند برای جلوگیری از انسداد توسط محصولات جانبی فشرده یا مواد فرآیند باقی مانده.

سیستم های یکپارچه Regis ، EZENITH ، EUVL و EUV افزایش بهره وری ، ایمنی و اعتماد به نفس زیست محیطی را فراهم می کند.

انواع محصولات: سیستم های بازیافت گاز اگزوز ، راه حل هایی برای کاهش انتشار دی اکسید کربن در تولید نیمه هادی ، راه حل های کنترل دمای هوشمند ، سیستم های تزریق گاز واکنش پذیر ، راه حل های کنترل خلاء و اگزوز برای فرآیندهای نیمه هادی ، سیستم های کنترل خلاء و اگزوز.

مدل ها: اطلس TCS ، اطلس TPU ، اطلس کرونیس ، اطلس اتچ ، اطلس هلیوس.