Hệ thống tuần hoàn khí thải Edwards Proteus, Atlas, EUVL, EUV, v. v.

Hệ thống tuần hoàn khí thải sẽ cải thiện thời gian hoạt động của quy trình, năng suất, hiệu suất và tuân thủ an toàn trong khi tìm cách cân bằng các yêu cầu thường mâu thuẫn.

Hệ thống Atlas cung cấp độ tin cậy đặc biệt, xử lý bột tuyệt vời và chống ăn mòn, mang lại hiệu quả giảm phát thải trong ngành công nghiệp bán dẫn, sản xuất bảng điều khiển phẳng, công nghiệp năng lượng mặt trời và MOCVD.

Hệ thống Proteus cung cấp hiệu quả thanh lọc PFCs và các khí khác gây ra sự nóng lên toàn cầu, mà không cần sử dụng khí tự nhiên hoặc các hydrocacbon khác.

Hệ Thống Giải Pháp quản Lý nhiệt Thông minh cung cấp hệ thống sưởi đáng tin cậy và được kiểm soát chính xác của ống xả trước chân không và xử lý để ngăn chặn tắc nghẽn bằng các sản phẩm phụ ngưng tụ hoặc vật liệu quá trình còn sót lại.

Hệ Thống Regis, EZENITH, EUVL và EUV tích hợp cung cấp tăng năng suất, an toàn và tự tin về môi trường.

Các loại sản phẩm: Hệ thống tuần hoàn khí thải, giải pháp giảm lượng khí thải carbon dioxide trong sản xuất chất bán dẫn, giải pháp kiểm soát nhiệt độ thông minh, hệ thống phun khí phản ứng, giải pháp kiểm soát chân không và khí thải cho các quy trình bán dẫn, hệ thống kiểm soát chân không và khí thải.

Mô hình: Tập BẢN đồ TCS, TẬP Bản đồ TPU, Tập Bản đồ Kronis, Tập Bản đồ Etch, Tập Bản đồ Helios.